Termék áttekintése
Grade 2 Titanium Sputtering Targets are manufactured from commercial pure titanium (>= 99.95%-os tisztaság) vákuumolvasztással és precíziós termo-mechanikai feldolgozással. Az egyenáramú és rádiófrekvenciás magnetronos porlasztórendszerekhez tervezett célpontok egyenletes vékony{3}filmlerakódást biztosítanak szabályozott szemcseszerkezettel, minimalizálva a részecskeképződést és az ívképződést a bevonási ciklusok során. Elérhető sík (kör, téglalap) és forgó konfigurációkban az ipari PVD-vonalakhoz.
Műszaki előírások
|
Paraméter |
Szabványos specifikáció |
Kapcsolódó mérnöki erőforrások |
|
Anyag fokozat |
ASTM Grade 2 / UNS R50400 (kereskedelmi tiszta titán) |
|
|
Tisztaság |
>= 99.95% (3N5) |
Anyagtanúsítási adatok |
|
Sűrűség |
>= 4.51 g/cm³ (Theoretical density >= 99.2%) |
Archimedes tesztjelentés |
|
Átlagos szemcseméret |
< 100 um (Fine, uniform microstructure) |
Metallográfiai elemzési minta |
|
Elérhető formák |
Sík (tárcsás, téglalap alakú, szegmens), forgó (hengeres) |
Egyedi konfigurációs lap |
|
Méretek |
Átmérő 400 mm-ig; Hossz 3000 mm-ig forgóhoz; Egyedi vastagságok rendelhetők |
Tűrések és megmunkálási határok |
|
Felületi kidolgozás |
Ra<= 0.8 um (machined or polished) |
Vizsgálati adatlap |
|
Ragasztási lehetőségek |
Indium kötés, Cu{0}}hátlap forrasztás (OFHC réz) |
A termikus interfész irányelvei |
Főbb jellemzők
Finom mikrostruktúra:A szabályozott meleg{0}}hengerlési és lágyítási paraméterek homogén, finom{1}}szemcsés mátrixot hoznak létre, amely stabil lerakódási sebességet és kiszámítható célkihasználást biztosít.
Alacsony gázszennyeződés:A vákuumelektronsugaras olvasztás minimálisra csökkenti az intersticiális elemek (oxigén, nitrogén, hidrogén, szén, vas) mennyiségét, csökkentve a mikro-íves és zárványhibákat a lerakódott filmben.
Magas hő- és elektromos vezetőképesség:Stabil elektromos impedanciát tart fenn nagy{0}}teljesítményű magnetronporlasztási körülmények között.
Pontos mérettűrés:A CNC-vel megmunkált élek és rögzítőfuratok zökkenőmentes beszerelést biztosítanak a szabványos és egyedi katódszerelvényekben.
Alkalmazások
Építészeti és autóipari üvegek:Alacsony-E (alacsony-emissziós képességű) üvegbevonatok és napelemes ablakfóliák.
Dekoratív és kemény bevonatok:PVD vékony filmek szaniterekhez, ajtóvasalakhoz, óratokokhoz és fogyasztói elektronikai cikkekhez, amelyek kopásállóságot és fémes bevonatot igényelnek.
Félvezető és mikroelektronika:Diffúziós akadályok, érintkezési rétegek és magrétegek nem{0}}kritikus IC-csomagolásban és különálló eszközgyártásban.
Optikai kijelzők:Vezetőképes vagy fényvisszaverő rétegek lapos{0}}képernyőkhöz és érintőképernyőkhöz.
Testreszabás és gyártás
Gyártási képességek:Vákuumos indukciós olvasztással (VIM), kovácsolással, többirányú hengerléssel{0}} és vákuumos lágyítósorokkal vezérelhető. A belső feldolgozás lehetővé teszi a szennyeződések elkülönítésének és a szemek növekedésének szigorú ellenőrzését.
Egyedi geometriák:A gyártás során alkalmazkodnak a nem-szabványos téglalap alakú méretekhez, lépcsőzetes élekhez, bonyolult hűtőcsatorna-konfigurációkhoz, valamint közvetlen ragasztáshoz OFHC réz- vagy alumínium hátlapokhoz indium vagy elasztomer forrasztóötvözetek használatával.
Prototípus a gyártásig:A méretezés támogatja az egy-darabos K+F-próbákat a több-tonnás ütemezett kötegelt szállításokig az ipari bevonatsorokhoz.
Minőségellenőrzés és tanúsítványok
Analitikai tesztelés:Minden gyártási tétel kémiai összetétel-elemzésen megy keresztül izzítókisülési tömegspektrometriával (GDMS) vagy ICP{0}}OES-sel. A sűrűséget Archimedes vízelvezetési módszerével ellenőrizzük.
Mikroszerkezeti vizsgálat:A metallográfiai vizsgálat igazolja a szemcseméret-eloszlást és a fázishomogenitást. A felület és a felszín alatti integritás ellenőrzése ultrahangos vizsgálattal (UT) történik a kritikus vastagsági küszöbértékeket meghaladó célpontok esetében.
Nyomon követhetőség:Minden célt egyedi elemzési tanúsítvánnyal (CoA) szállítanak, amely rögzíti a tényleges tisztaságot, a szennyeződési szintet (ppm), a sűrűséget és a méretellenőrzési rekordokat.
Minőségi szabvány:ISO 9001 tanúsítvánnyal rendelkező működési eljárások szerint gyártva.
Csomagolás és szállítás
Védőcsomagolás és szállítási megfelelőség:Egyedi vákuum-zárva polietilén zacskókba, nedvesség-elnyelő szárítószerrel, nagy-sűrűségű EVA habbal-bélelt fa ládákba zárva. A csomagolási protokollokat úgy tervezték és tesztelték, hogy ellenálljanak a nemzetközi tengeri és légi rakományok hosszú távú-szállításának, megakadályozva a felületi oxidációt, az élek betöredezését és az ütési sérüléseket.
Logisztikai és vámügyi támogatás:A globális szállítmányok tartalmazzák a teljes megfelelőségi dokumentációt (Mill Test Certificate, kereskedelmi számlák, csomagolási listák és export-megfelelőségi űrlapok). A szabványos átfutási idő 2-4 hét a méretektől és a ragasztási követelményektől függően.
GYIK
K: Mi a pontos tisztasági szintje a 2. fokozatú titán céltábláinak?
V: A standard tisztaság 99,95% (3N5). A vas (Fe), az oxigén (O), a szén (C), a nitrogén (N) és a hidrogén (H) specifikus szennyeződési határértékei szigorúan megfelelnek az ASTM B348 2. fokozatú kémiai határértékeinek, az egyes tételek értékeit a mellékelt elemzési tanúsítvány részletezi.
K: Hogyan akadályozhatja meg az ívképződést a nagy teljesítményű{0}}porlasztás során?
A: Target density (>= 99.2%) és finom szemcseméret (< 100 um) eliminate micro-voids and segregation zones. This structural uniformity prevents localized charge accumulation and sudden gas release, minimizing particle generation and DC/RF arcing.
K: Tud szállítani a támlapokhoz ragasztott céltárgyakat?
V: Igen. A síktárgyak indium-ragaszthatók vagy forraszthatók oxigén-mentes nagy-vezetőképességű (OFHC) réz- vagy alumínium hátlapokra, a katódhűtési kialakításhoz és a teljesítménysűrűséghez igazítva.
K: Mi a jellemző átfutási idő az egyéni{0}}méretű téglalap alakú céloknál?
V: A szabványos gyártás és a minőségellenőrzés 15-25 munkanapot igényel az egyéni méretek vagy a ragasztott konfigurációk esetében. A raktári nyersanyagok lehetővé teszik a szabványos síktárcsák gyors átfutását.
K: Biztosít minden szállítmányhoz anyagvizsgálati jelentést?
V: Minden tétel tartalmaz egy teljes analitikai tanúsítványt (CoA), amely megerősíti a kémiai összetételt, sűrűséget, keménységet és adott esetben az ultrahangos NDT vizsgálat eredményeit.
K: Mi a minimális rendelési mennyiség (MOQ) a nem-szabványos méretek esetén?
V: A MOQ az anyagfelhasználástól függ a vágás és kovácsolás során. Szabványos készletméretek esetén egy-darabos prototípus rendeléseket fogadunk el; egyedi ötvözetmódosításokra vagy egyedi geometriákra a tétel minimuma érvényes.
Kérjen árajánlatot
Adja meg a szükséges méreteket, tisztaságot, alakot (sík/forgó), mennyiséget és a ragasztás célkövetelményeit, hogy megkapja a műszaki árajánlatot, az anyag átfutási idejét és a műszaki rajzok áttekintését.
Kötelező ajánlatkérés részletei:Cél geometria és méretek, mennyiség, alátámasztó lemez követelmény (ha van), célalkalmazás / porlasztórendszer, CAD/rajzmelléklet (opcionális a DFM felülvizsgálatához).
Népszerű tags: 2. fokozatú titán porlasztó célok, Kína 2. fokozatú titán porlasztó célok gyártók, beszállítók, gyár